เลเซอร์อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ระนาบเลเซอร์

Laser Planar Interferometer (LPI-100) ซึ่งมีความเร็วในการวัดไดนามิกแบบเรียลไทม์สูงสุด 15 เฟรมต่อวินาที สามารถตรวจจับรูปร่างพื้นผิวขององค์ประกอบออปติคัลระนาบแบบเรียลไทม์ภายในรูรับแสง 100 มม. ลำแสงที่นำข้อมูลรูปร่างพื้นผิวขององค์ประกอบที่วัดมาจะเลี้ยวเบนผ่านตะแกรงที่เข้ารหัสเป็นพิเศษ ซึ่งจะตัดหน้าคลื่นด้านข้างออกเป็นสี่ส่วน ทำให้เกิดเส้นทางทั่วไปที่ตัดรูปแบบการรบกวนสองมิติโดยมีหน้าคลื่นสี่หน้า ด้วยการลดสัญญาณรบกวนแบบสองมิติ จึงสามารถรับข้อมูลรูปร่างพื้นผิวขององค์ประกอบได้

ข้อกำหนดรายการ:

คุณลักษณะของ BOJIONG Laser Planar Interferometer

◆การวัดไดนามิกแบบเรียลไทม์สูงสุด 15 เฟรม

◆2nm RMS ความละเอียดเฟสสูง

◆ความละเอียดสูงสุดของจุดเฟส 262144

◆สามารถรับรู้การตรวจจับแบบไดนามิกแบบเรียลไทม์ สามารถบรรลุการตรวจจับแบบไดนามิก 15 เฟรม/วินาที

◆ด้วยสิทธิในทรัพย์สินทางปัญญาที่เป็นอิสระ คุ้มค่า ปรับง่าย โครงสร้างกะทัดรัด

◆ตามหลักการของการรบกวนตัวเองของช่องสัญญาณทั่วไป อุปกรณ์ไม่จำเป็นต้องมีกระจกอ้างอิง และมีความต้านทานที่แข็งแกร่ง ความสามารถในการรบกวน ในสภาพแวดล้อมโรงงานทั่วไปยังสามารถบรรลุการตรวจจับพื้นผิวเรียบได้อย่างแม่นยำ

การประยุกต์ใช้เครื่องวัดอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ระนาบเลเซอร์ BOJIONG

BOJIONGLaser Planar Interferometer นี้มาพร้อมกับเซ็นเซอร์อินเทอร์เฟอโรเมตริกสี่คลื่น FIS4 เพื่อตรวจจับรูปร่างกระจกระนาบมาตรฐาน และซอฟต์แวร์ประมวลผลจะส่งออกค่า PV, ค่า RMS และค่า POWER ของพื้นผิวของส่วนประกอบที่ทดสอบ

รายละเอียด อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระนาบเลเซอร์ BOJIONG

BOJIONG Planar Four-wave Dynamic Interferometer แผนผังโครงร่างโดยรวม

โมดูลการทำงานของ BOJIONG Laser Planar Interferometer สามารถแบ่งออกเป็นโมดูลแหล่งกำเนิดแสงส่องสว่าง โมดูลขยายลำแสงรอง โมดูลพาหะ โมดูลโฟกัสเฉพาะจุดเพื่อช่วยในการปรับทัศนคติของตัวอย่าง และโมดูลเซ็นเซอร์อินเทอร์เฟอโรเมตริกสำหรับการตรวจจับรูปร่างพื้นผิวของตัวอย่าง .

โมดูลแหล่งกำเนิดแสงของระบบใช้เลเซอร์นีออนก๊าซฮีเลียมที่มีความยาวคลื่นกลาง 632.8 นาโนเมตร

โมดูลขยายลำแสงรองจะขยายขนาดลำแสงเป็น 100 มม. ตรงตามข้อกำหนดสำหรับการตรวจจับที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่

ส่วนเวทีใช้สำหรับวางส่วนประกอบเชิงระนาบระนาบที่จะทดสอบ เช่น ผลึกแบน เวเฟอร์แบบฉายเดี่ยว ชิปหน้าต่าง ตัวสะท้อนแสงระนาบ ฯลฯ ขั้นตอนการโหลดมีล้อเลื่อนเคลื่อนที่ในทิศทาง X และ Y เพื่อควบคุมการเคลื่อนไหวของตัวอย่าง เพื่อให้จุดแสงที่ปล่อยออกมาของอุปกรณ์ครอบคลุมพื้นผิวของตัวอย่างทดสอบอย่างสมบูรณ์ ในเวลาเดียวกัน บนเวทียังมีการติดตั้งปุ่มสองปุ่มเพื่อปรับท่าทางการเอียงของตัวอย่าง ด้วยการปรับปุ่มเหล่านี้ ระนาบทดสอบจะตั้งฉากกับแกนลำแสง

ระบบถ่ายภาพมีระบบกล้องคู่ หนึ่งในนั้นใช้กล้องถ่ายภาพแบบออพติคอลเพื่อสร้างโมดูลโฟกัสเฉพาะจุดเพื่อช่วยในการปรับท่าทางของตัวอย่าง โดยการสังเกตตำแหน่งจุดกลับของตัวอย่างแบบเรียลไทม์ ท่าทางของตัวอย่างจะถูกปรับเพื่อให้แน่ใจว่าการวัดมีความแม่นยำ อีกเส้นทางหนึ่งติดตั้งเซ็นเซอร์อินเทอร์เฟอโรเมตริกสี่คลื่น FIS4 ซึ่งสร้างโมดูลเซ็นเซอร์อินเทอร์เฟอโรเมตริกสำหรับการตรวจจับรูปร่างพื้นผิวของตัวอย่าง ด้วยการบันทึกขอบอินเตอร์เฟอโรเมตริกแบบเส้นทางทั่วไป จึงสามารถบรรลุผลป้อนกลับแบบเรียลไทม์ของข้อมูลสามมิติบนพื้นผิวของตัวอย่างทดสอบได้ ระบบกล้องคู่สามารถทำงานพร้อมกันได้

โมดูลซอฟต์แวร์ระดับมืออาชีพ

◆มาพร้อมกับซอฟต์แวร์ "Laser Planar Interferometer" ซึ่งสามารถแสดงและส่งออกภาพ 3 มิติแบบเรียลไทม์ของระนาบองค์ประกอบออปติคัลที่วัดได้ ค่า PV เอาท์พุต ค่า RMS และค่า POWER ของพื้นผิวที่วัดได้

◆ในเวลาเดียวกัน ซอฟต์แวร์รองรับการส่งออกข้อมูลดิบของผลการวัด ให้การสนับสนุนข้อมูลการตรวจจับเชิงปริมาณสำหรับการศึกษาต่างๆ และอำนวยความสะดวกให้ผู้ใช้ดำเนินการวิเคราะห์ข้อมูลและการวิจัยในอนาคต