เซ็นเซอร์หน้าคลื่นความละเอียดสูงพิเศษ BOJIONG UHR ใช้เทคโนโลยีการเลี้ยวเบนสี่คลื่นการเข้ารหัสแบบสุ่มที่ได้รับการจดสิทธิบัตร เพื่ออำนวยความสะดวกในการรบกวนตัวเองของหน้าคลื่นช่องเดียวที่ตำแหน่งระนาบภาพด้านหลัง เซ็นเซอร์นี้ต้องการความสอดคล้องกันน้อยที่สุดจากแหล่งกำเนิดแสง และไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเฟส ทำให้ระบบภาพมาตรฐานสามารถทำการวัดสัญญาณรบกวนได้ โดดเด่นด้วยความต้านทานการสั่นสะเทือนและความเสถียรสูงเป็นพิเศษ ทำให้สามารถตรวจวัดได้อย่างแม่นยำระดับนาโนเมตร โดยไม่ต้องใช้แพลตฟอร์มแยกการสั่นสะเทือน เมื่อเปรียบเทียบกับเซ็นเซอร์ Hartmann อาร์เรย์ไมโครเลนส์ เซ็นเซอร์หน้าคลื่นความละเอียดสูงพิเศษ BOJIONG UHR ให้จุดเฟสจำนวนมากกว่า แบนด์วิดท์ที่ปรับเปลี่ยนได้กว้างขึ้น ช่วงไดนามิกที่กว้างขึ้น และโซลูชันที่คุ้มค่ากว่า
ช่วงความยาวคลื่น |
400 นาโนเมตร ~ 1100 นาโนเมตร |
ขนาดเป้าหมาย |
10มม.×10มม |
ความละเอียดเชิงพื้นที่ |
23.6μm |
ความละเอียดในการสุ่มตัวอย่าง |
2048×2048 |
ความละเอียดเฟส |
512×512(262144พิกเซล) |
ความแม่นยำแน่นอน |
<2nmRMS |
ช่วงไดนามิก |
10nmRMS |
อัตราการสุ่มตัวอย่าง |
162μm (256 นาที) |
ความเร็วในการประมวลผลแบบเรียลไทม์ |
32เฟรมต่อวินาที |
ประเภทอินเทอร์เฟซ |
10Hz (ที่ความละเอียดเต็ม) |
มิติ |
ยูเอสบี3.0 |
น้ำหนัก |
70 มม.×46.5 มม.×68.5 มม |
ช่วงความยาวคลื่น |
ประมาณ 240ก |
◆คลื่นความถี่กว้าง 400nm~1100nm
◆2nm RMS ความละเอียดเฟสสูง
◆ความละเอียดสูงพิเศษ 512×512 (262144) จุดเฟส
◆การรบกวนตัวเองของแสงช่องเดียว ไม่จำเป็นต้องใช้ไฟอ้างอิง
◆ ต้านทานการสั่นสะเทือนสูงเป็นพิเศษ ไม่จำเป็นต้องแยกการสั่นสะเทือนด้วยแสง
◆เช่นเดียวกับการสร้างภาพ การสร้างเส้นทางแสงที่ง่ายและรวดเร็ว
◆รองรับลำแสงคอลลิเมตและคานผสาน NA ขนาดใหญ่
เซ็นเซอร์อินเทอร์เฟอโรเมตริกสี่คลื่นความละเอียดสูงพิเศษ BOJIONG นี้ใช้ในการตรวจจับด้านหน้าคลื่นของลำแสงเลเซอร์, ออพติกแบบปรับได้, การวัดรูปร่างพื้นผิว, การสอบเทียบระบบออปติคัล, การตรวจจับหน้าต่างแบบออปติคอล, ระนาบออปติคอล, การวัดรูปร่างพื้นผิวทรงกลม, การตรวจจับความหยาบของพื้นผิว
การตรวจจับหน้าคลื่นของลำแสงเลเซอร์ |
การวัดรูปร่างพื้นผิวระนาบแสง |
การวัดรูปร่างพื้นผิวทรงกลมแบบออปติคอล |
การวัดความคลาดเคลื่อนของระบบออปติก |
การตรวจจับชิ้นหน้าต่างแบบออปติคอล |
การวัดการกระจายตัวของโครงตาข่ายภายในวัสดุ |
Adaptive optics - การตอบสนองการตรวจจับหน้าคลื่นในโหมด Zernike |
|
พัฒนาโดยทีมอาจารย์จากมหาวิทยาลัยเจ้อเจียงและมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีนันยางแห่งสิงคโปร์ เซ็นเซอร์หน้าคลื่นความละเอียดสูงพิเศษ BOJIONG UHR ใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรในประเทศเพื่อผสานการเลี้ยวเบนและการรบกวนเข้าด้วยกัน เพื่อให้ได้สัญญาณรบกวนแรงเฉือนตามขวางแบบคลื่นสี่คลื่น เซ็นเซอร์นี้ขึ้นชื่อในด้านความไวในการตรวจจับและการต้านทานการสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม ทำให้สามารถอินเทอร์เฟอโรเมทรีไดนามิกความเร็วสูงแบบเรียลไทม์โดยไม่จำเป็นต้องแยกการสั่นสะเทือน และเกิน 10 เฟรมต่อวินาทีในอัตราเฟรมการวัดแบบเรียลไทม์
เซ็นเซอร์ FIS4 ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของระบบนี้ ครอบคลุมช่วงการวัดตั้งแต่ 200 นาโนเมตรถึง 15μm และมีความละเอียดเฟสสูงเป็นพิเศษที่ 512×512 ซึ่งเท่ากับจุดเฟส 260,000 จุด โดยให้ความสามารถในการทำซ้ำการวัดได้ดีกว่า 1/1000γ (RMS) และมีความไวที่ 2 นาโนเมตร เซ็นเซอร์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งาน เช่น การวิเคราะห์คุณภาพลำแสงเลเซอร์ การตรวจจับสนามการไหลของพลาสมา การวัดการกระจายของสนามการไหลความเร็วสูงแบบเรียลไทม์ การประเมินคุณภาพของภาพของระบบออพติคัล การวัดโปรไฟล์ด้วยกล้องจุลทรรศน์ และการถ่ายภาพเฟสเชิงปริมาณของเซลล์ชีวภาพ
ที่อยู่
เลขที่ 578 ถนน Yingkou เขตหยางผู่ เซี่ยงไฮ้ จีน
โทร
อีเมล