พัฒนาขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการวัดอินเทอร์เฟอโรเมตริกที่สะดวกในอุตสาหกรรม การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และการป้องกันประเทศ ความละเอียดสูงที่จุดเฟส 300×300 (90,000) การตอบสนองสเปกตรัมกว้าง 400-1100 นาโนเมตร จอแสดงผล 3D แบบเรียลไทม์ความละเอียดสูงเต็มรูปแบบ 10 เฟรม มอบเครื่องมือวัดการตรวจจับหน้าคลื่นในอุดมคติสำหรับการตรวจจับด้านหน้าคลื่นของลำแสงเลเซอร์ ระบบออปติกแบบปรับได้ ระบบออพติคอล การสอบเทียบ, การตรวจจับหน้าต่างด้วยแสง, รูปร่างพื้นผิวระนาบแสง, การวัดรูปร่างพื้นผิวทรงกลม, ความหยาบของพื้นผิว, การตรวจจับรูปร่างไมโครของพื้นผิว ฯลฯ
เซ็นเซอร์อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์สี่คลื่นความละเอียดสูง FIS4 HRใช้เทคโนโลยีการเลี้ยวเบนสี่คลื่นเข้ารหัสแบบสุ่มที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเพื่อให้เกิดการรบกวนตัวเองที่หน้าคลื่นที่วัดได้ช่องเดียว และการรบกวนเกิดขึ้นที่ตำแหน่งระนาบภาพด้านหลัง มีข้อกำหนดต่ำในการเชื่อมโยงกันของแหล่งกำเนิดแสง ไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเฟส และสามารถบรรลุการวัดแบบอินเตอร์เฟอโรเมตริกได้โดยใช้ระบบสร้างภาพธรรมดา มีความต้านทานการสั่นสะเทือนสูงเป็นพิเศษและมีความเสถียรสูงเป็นพิเศษ และสามารถบรรลุการวัดที่แม่นยำระดับนาโนเมตรโดยไม่ต้องแยกการสั่นสะเทือน เมื่อเปรียบเทียบกับเซ็นเซอร์ Hartmann แบบอาร์เรย์ไมโครเลนส์ จะมีจุดเฟสที่มีความละเอียดสูงกว่า ช่วงแถบความถี่ที่ปรับได้กว้างกว่า ช่วงไดนามิกที่ใหญ่กว่า และประสิทธิภาพด้านต้นทุนที่ดีกว่า
คุณสมบัติหลัก
◆ ความละเอียดสูง 300 × 300 (90,000) จุดเฟส
◆ การรบกวนตัวเองของแสงเส้นทางเดียว ไม่จำเป็นต้องใช้กระจกอ้างอิง
◆ วงกว้าง 400nm~1100nm
◆ ความละเอียดเฟสสูง 2nm RMS
◆ ต้านทานการสั่นสะเทือนได้ดีมาก ไม่จำเป็นต้องแยกการสั่นสะเทือนด้วยแสง
◆ การสร้างเส้นทางแสงรบกวนที่ง่ายและรวดเร็ว
◆ รองรับคานคอลลิเมตและคานบรรจบกัน NA ขนาดใหญ่
การใช้งานผลิตภัณฑ์
การตรวจจับหน้าคลื่นของลำแสงเลเซอร์, ออพติคแบบปรับตัว, การวัดพื้นผิวระนาบ, การสอบเทียบระบบออปติคอล, การตรวจจับหน้าต่างด้วยแสง, ระนาบแสง, การวัดพื้นผิวทรงกลม, การตรวจจับความขรุขระของพื้นผิว
