เครื่องตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวส่วนประกอบทางแสง AOI1000

สำหรับส่วนประกอบการทดสอบขนาดใหญ่ เช่น เวเฟอร์ซิลิคอนและเวเฟอร์แซฟไฟร์ เครื่องตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวส่วนประกอบทางแสง AOI1000 ให้ความละเอียดในการตรวจจับสูงถึง 0.5 ไมโครเมตร และรูรับแสงในการตรวจสอบสูงสุด 1000 มม. x 600 มม. อุปกรณ์นี้สามารถสร้างรายงานได้โดยอัตโนมัติ โดยมีรูปแบบรายงาน รวมถึงมาตรฐานทางทหารของสหรัฐอเมริกา MIL-PRF-13830A/B และมาตรฐานสากล ISO 10110-7

ข้อกำหนดรายการ:

คุณลักษณะของเครื่องตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวส่วนประกอบทางแสง BOJIONG AOI1000

เครื่องตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวส่วนประกอบทางแสง AOI1000 ใช้เทคโนโลยีวิชันซิสเต็มเพื่อการตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวบนส่วนประกอบต่างๆ โดยอัตโนมัติ ความเร็วสูง และมีความแม่นยำสูง เช่น เวเฟอร์ซิลิคอนและเวเฟอร์แซฟไฟร์ ซึ่งช่วยแก้ไขปัญหาประสิทธิภาพต่ำและความแม่นยำต่ำในการตรวจสอบด้วยภาพได้อย่างมีประสิทธิภาพ . ความละเอียดการตรวจจับสูงสุดสามารถเข้าถึง 0.5 ไมโครเมตร และรูรับแสงการตรวจจับสูงสุดสามารถมีขนาดใหญ่ได้ถึง 1,000 มม. x 600 มม. เทคโนโลยีการถ่ายภาพประกอบด้วยการส่องสว่างแบบวงแหวนและการถ่ายภาพสนามมืดแบบกระจายขนาดเล็ก อุปกรณ์นี้สามารถสร้างรายงานในรูปแบบต่างๆ ได้โดยอัตโนมัติ รวมถึงมาตรฐานทางทหารของสหรัฐอเมริกา MIL-PRF-13830A/B และมาตรฐานสากล ISO 10110-7

ฟิลด์แอปพลิเคชันเครื่องตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวส่วนประกอบทางแสง AOI1000

เหมาะสำหรับการควบคุมคุณภาพของข้อบกพร่องที่พื้นผิวในส่วนประกอบทางแสง เวเฟอร์หน้าต่างแสง เวเฟอร์ซิลิคอน เวเฟอร์แซฟไฟร์ ฯลฯ

ข้อบกพร่องในการเคลือบ: การหลุดร่อน, ความเสียหายต่อการเคลือบ ฯลฯ

ข้อบกพร่องในการขัด: รอยขีดข่วน หลุม การบิ่น ฟอง สิ่งสกปรก ฯลฯ

อุปกรณ์นี้สามารถรองรับข้อบกพร่องประเภทต่อไปนี้:

◆ ไฟส่องสว่างวงแหวนแบบหลายลำแสง

◆ การขยายภาพแบบแปรผันพร้อมตัวเลือกการขยายสูงและต่ำ

◆ ความแม่นยำในการตรวจจับ 0.5 μm

◆ การตรวจจับหลายเวเฟอร์ทั้งแผ่น

◆ มอเตอร์แนวราบเพื่อการถ่ายภาพที่รวดเร็ว

◆ ติดตั้ง FFU (หน่วยกรองพัดลม) เพื่อความมั่นใจในความสะอาดภายใน

ไฟส่องภาพวงแหวนแบบหลายลำแสง

กล้องจุลทรรศน์ซูมอัตโนมัติตั้งแต่ 1X ถึง 8X

การหนีบอย่างรวดเร็วแบบปรับได้สำหรับทั้งแผ่น

มอเตอร์เชิงเส้น 2D ที่มีความแม่นยำสูงช่วยให้มั่นใจในความแม่นยำของการถ่ายภาพที่รวดเร็ว

ซอฟต์แวร์ตรวจสอบอัจฉริยะ AOI

เอาต์พุตสเปรดชีตมาตรฐานทางทหาร

แสดงผลการทดสอบ

เคลือบผิวกันรอยขีดข่วน

รอยขีดข่วน

จุดที่เลเซอร์เสียหาย 1

เลเซอร์เสียหายจุดที่ 2

จุดอนุภาคระดับนาโน

ไฟเบอร์

ส่วนประกอบที่เสื่อมโทรม

ความเสียหายของชั้นเมมเบรน

พารามิเตอร์เครื่องตรวจจับข้อบกพร่องพื้นผิวส่วนประกอบทางแสง AOI1000