สำหรับการใช้งานต่างๆ เช่น เลเซอร์เฟมโตวินาทีและการวิเคราะห์สนามการไหล BOJIONG ได้พัฒนาเครื่องวิเคราะห์ Wavefront ความเร็วสูงเป็นพิเศษ ซึ่งทำการรบกวนที่ระนาบโฟกัสด้านหลัง มีข้อกำหนดต่ำสำหรับการเชื่อมโยงกันของแหล่งกำเนิดแสง และไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเฟส สามารถใช้ระบบสร้างภาพแบบธรรมดาเพื่อให้ได้การวัดแบบอินเทอร์เฟอโรเมตริก อุปกรณ์นี้มีความต้านทานแรงสั่นสะเทือนสูงเป็นพิเศษ ความเสถียรสูงเป็นพิเศษ ความสามารถในการถ่ายภาพด้วยความเร็วสูงพิเศษ และความสามารถในการบรรลุการวัดที่แม่นยำระดับนาโนโดยไม่จำเป็นต้องแยกการสั่นสะเทือน
ชื่อผลิตภัณฑ์ |
เครื่องวิเคราะห์ Wavefront ความเร็วสูงพิเศษ |
ช่วงความยาวคลื่น |
400 นาโนเมตร ~ 1100 นาโนเมตร |
ขนาดเป้าหมาย |
10.24มม.×10.24มม |
ความละเอียดเชิงพื้นที่ |
24.4μm |
ความละเอียดในการสุ่มตัวอย่าง |
420×420(176400พิกเซล) |
ความละเอียดเฟส |
<2nmRMS |
ความแม่นยำแน่นอน |
10nmRMS |
ช่วงไดนามิก |
132μm (210 μm) |
อัตราการสุ่มตัวอย่าง |
107fps |
ความเร็วในการประมวลผลแบบเรียลไทม์ |
10Hz (ความละเอียดเต็ม) |
ประเภทอินเทอร์เฟซ |
รองรับการประมวลผลแบบแบตช์ล่าช้า |
มิติ |
สับ |
น้ำหนัก |
56.5มม.×43มม.×41.5มม |
ช่วงความยาวคลื่น |
ประมาณ 120ก |
◆อัตราเฟรมสุ่มตัวอย่างสูงสุด 107fps
◆คลื่นความถี่กว้าง 400nm~1100nm
◆ความละเอียดสูงพิเศษของจุดเฟส 420 × 420 (176400)
◆การรบกวนตัวเองของแสงช่องเดียว ไม่จำเป็นต้องใช้ไฟอ้างอิง
◆2nm RMS ความละเอียดเฟสสูง
◆ประสิทธิภาพการป้องกันการสั่นสะเทือนที่แข็งแกร่งมาก ไม่จำเป็นต้องแยกการสั่นสะเทือนด้วยแสง
◆เช่นเดียวกับการสร้างภาพ การสร้างเส้นทางแสงที่ง่ายและรวดเร็ว
◆รองรับลำแสงคอลลิเมตและคานผสาน NA ขนาดใหญ่
เครื่องวิเคราะห์ Wavefront ความเร็วสูงพิเศษ BOJIONG นี้ใช้ในการตรวจจับความหยาบของพื้นผิวเวเฟอร์ การวัดสัณฐานวิทยาระดับจุลภาคที่ใช้ซิลิกอนและแก้ว ออพติกแอโรไดนามิก สนามการไหลความเร็วสูง การวัดความหนาแน่นของพลาสมาของก๊าซ
การตรวจจับหน้าคลื่นของลำแสงเลเซอร์ |
การวัดรูปร่างพื้นผิวระนาบแสง |
ตัวอย่างการวัดความหยาบผิวเวเฟอร์ |
ตัวอย่างการวัดกราฟหน้าคลื่นที่สร้างขึ้นใหม่ |
เส้นทางแสงของการวัดความหนาแน่นของแก๊สพลาสมา |
|
BOJIONG Ultra High-speed Wavefront Analyzer พัฒนาโดยทีมอาจารย์จากมหาวิทยาลัยเจ้อเจียงและมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีนันยางแห่งสิงคโปร์ ด้วยเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรในประเทศ โดยผสมผสานการเลี้ยวเบนและการรบกวนเข้าด้วยกันเพื่อให้ได้สัญญาณรบกวนเฉือนตามขวางแบบสี่คลื่นทั่วไป พร้อมความไวในการตรวจจับที่เหนือกว่าและการป้องกัน - ประสิทธิภาพการสั่นสะเทือนและสามารถรับรู้อินเทอร์เฟอโรเมทไดนามิกแบบเรียลไทม์และความเร็วสูงโดยไม่ต้องแยกการสั่นสะเทือน การวัดแบบเรียลไทม์แสดงอัตราเฟรมมากกว่า 10 เฟรม ในเวลาเดียวกัน เซ็นเซอร์ FIS4 มีความละเอียดเฟสสูงเป็นพิเศษที่ 512×512 (260,000 จุดเฟส) แถบการวัดครอบคลุม 200nm~15μm ความไวในการวัดสูงถึง 2nm และความสามารถในการทำซ้ำการวัดดีกว่า 1/1000γ ( อาร์เอ็มเอส) สามารถใช้สำหรับการวิเคราะห์คุณภาพลำแสงเลเซอร์ การตรวจจับสนามการไหลของพลาสมา การวัดแบบเรียลไทม์ของการกระจายสนามการไหลความเร็วสูง การประเมินคุณภาพของภาพของระบบออปติคอล การวัดโปรไฟล์ด้วยกล้องจุลทรรศน์ และการถ่ายภาพเฟสเชิงปริมาณของเซลล์ชีวภาพ
พารามิเตอร์ทางเทคนิค FIS4 ของผลิตภัณฑ์แต่ละชุด |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
ผลิตภัณฑ์ |
FIS4-ยูวี |
FIS4-HR |
นาฬิกา FIS4 |
FIS4-HS |
FIS4-เซลล์ |
FIS4-NIR |
ช่วงความยาวคลื่น |
200~450นาโนเมตร |
400~1100นาโนเมตร |
400~1100นาโนเมตร |
400~1100นาโนเมตร |
400~1100นาโนเมตร |
900~1200นาโนเมตร |
ขนาดเป้าหมาย mm² |
13.3×13.3 |
7.07×7.07 |
13.3×13.3 |
10.24×10.24 |
7.07×7.07 |
13.3×13.3 |
ความละเอียดเชิงพื้นที่ |
26ไมโครเมตร |
23.6μm |
26ไมโครเมตร |
24.4μm |
23.6μm |
26ไมโครเมตร |
พิกเซลของภาพ |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
ความละเอียดเอาต์พุตเฟส |
512×512 (262144พิกเซล) |
300 × 300 (90000 พิกเซล) |
512×512(262144พิกเซล) |
420×420(176400พิกเซล) |
300 × 300 (90000 พิกเซล) |
512×512(262144พิกเซล) |
ความละเอียดเฟส |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
ความแม่นยำแน่นอน |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
ช่วงไดนามิก |
90ไมโครเมตร (256 นาที) |
110μm (150 นาที) |
162μm (256 นาที) |
132μm (210 นาที) |
110μm (150 นาที) |
270μm (256 นาที) |
อัตราการสุ่มตัวอย่าง |
32เฟรมต่อวินาที |
24เฟรมต่อวินาที |
45เฟรมต่อวินาที |
107fps |
24เฟรมต่อวินาที |
45เฟรมต่อวินาที |
ความเร็วในการประมวลผลแบบเรียลไทม์ |
10เฮิร์ต (ความละเอียดเต็ม) |
10เฮิร์ต (ความละเอียดเต็ม) |
10เฮิร์ต (ความละเอียดเต็ม) |
10เฮิร์ต (ความละเอียดเต็ม) รองรับการประมวลผลแบบแบตช์ล่าช้า |
10เฮิร์ต (ความละเอียดเต็ม) |
10เฮิร์ต (ความละเอียดเต็ม) |
ประเภทอินเทอร์เฟซ |
ยูเอสบี3.0 |
สับ |
ยูเอสบี3.0 |
สับ |
สับ |
ยูเอสบี3.0 |
อินเทอร์เฟซภายนอก |
- |
- |
- |
- |
พอร์ตซี |
- |
ขนาด มม.² |
70x46.5x68.5 |
56.5x43x41.5 |
70x46.5x68.5 |
56.5x43x41.5 |
56.5x43x41.5 |
70x46.5x68.5 |
น้ำหนัก |
ประมาณ 240g |
ประมาณ 120g |
ประมาณ 240g |
ประมาณ 120g |
ประมาณ 120g |
ประมาณ 240g |
ที่อยู่
เลขที่ 578 ถนน Yingkou เขตหยางผู่ เซี่ยงไฮ้ จีน
โทร
อีเมล